名称：场发射扫描电子显微镜

型号：日立 SU8600

主要技术指标：

加速电压：0.1～30 kV；放大倍率：20～2000000；工作距离：1.8-40.0mm；电子枪：冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统

主要功能：

配备样品台电子束减速，1 kV分辨率可达7Å，15kV达到6Å；
配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
超高分辨观察性能：半内透镜物镜，保证分辨率；
SE与BSE可任意选择功能；
运用日立E×B技术